中国大陆拥有世界上进行中最多的半导体晶圆厂建设项目,目前有57个晶圆厂正在运营,有26个晶圆厂正在建设或计划中,其中300mm晶圆厂为19个,200mm的有7个。
晶圆厂建设提速
近两年,无论是外商投资,还是本土企业,中国大陆的晶圆厂建设速度越爱越快。特别是在全球缺货的当下,产能扩充的紧迫性更加突出。
就省市而言,作为半导体重镇,上海公布的2020年重大建设项目清单中,在集成电路方面,包括华力微电子300mm晶圆先进生产线建设,中芯国际300mm晶圆SN1项目,积塔半导体特色制程项目等已在建。
另外,在张江科学城举行的重点项目集中签约中,还包括聚辰股份总部、上海华岭高端集成电路测试平台等项目。
上海是中国大陆芯片制造的重中之重。今年2月,上海市发改委公布了2021年上海市重大建设项目清单,其中,半导体成重头戏,有几个重点项目特别值得关注,如上海集成电路产业研发与转化功能型平台,格科半导体300mm晶圆CIS集成电路研发与产业化项目等。
格科半导体300mm晶圆特色工艺线项目总投资约155亿元,预计2024年竣工,将建设一座300mm、月产6万片的芯片厂,建造300mm晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线(包含CMOS图像传感芯片的BSI和OCF两大特色工艺)。
此外,还有华力微电子300mm晶圆先进生产线建设、中芯国际300mm晶圆SN1项目、积塔半导体特色工艺生产线。
其中,中芯国际300mm晶圆SN1项目由中芯南方负责实施,总投资90.59亿美元,规划月产能3.5万片,工艺技术水平为14nm及以下,是中国大陆第一条FinFET工艺生产线,也是中芯国际14nm及以下先进工艺研发和量产的主要承载平台。
积塔半导体特色工艺生产线项目总投资359亿元。根据规划,该项目目标是建设月产能6万片的200mm晶圆生产线和5万片的300mm晶圆特色工艺生产线。产品重点面向工控、汽车、电力、能源等领域。
嘉兴则在半导体细分领域发力,2020年3月,嘉兴75个项目集中开工,有6个项目涉及半导体产业,包括氮化镓射频与功率器件生产基地项目,新建年产IGBT功率器件200万件项目、新华三集团(H3C)电子信息产业园项目、5G通信用核心射频元器件扩能及测试环境建设项目等。
就公司而言,联电于2020年2月宣布的厦门工厂二期项目总投资为35亿元;Tower宣布于2020年建造一座300mm晶圆代工厂;
在广州,Can Semi项目的第二阶段(300 mm 65-90 nm模拟IC)计划投资65亿元;YMTC项目的第二阶段扩建工作于2020年6月开始,建成后,每月可增加20万片晶圆的产量;
中芯国际于2020年8月在北京成立了一家合资公司,专注于28nm,投资76亿美元,其在深圳投资的300mm晶圆厂预计在2022年投入生产;Nexchip也投资了170亿元人民币,在合肥建设300mm晶圆厂。
半导体设备需求旺盛
随着晶圆产能向中国大陆转移,晶圆厂建设提速,对半导体设备的需求也水涨船高。美国最大的半导体设备制造商应用材料2020财年数据显示,该财年的营收为172亿美元,其中,来自中国大陆的营收达到54.6亿美元,占比31.7%,而且连续5年增长。
中国大陆超过韩国和中国台湾,成为世界最大的半导体设备市场。
另外,美国半导体设备公司泛林2020财年营收100.45亿美元,中国大陆市场贡献了31%的营收,超过韩国成为其最大营收市场。